Nouvelle technologie pour matériaux et gaz corrosifs
Dans le cadre de l'International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS), notre usine de San Marcos (US) compte parmi ses évolutions passées et récentes la préparation d'hexafluorure de tungstène (WF6) ainsi qu'un statut de nouveau précurseur pour les techniques de dépôt par plasma ALD (Atomic Layer Deposition) de diélectriques à forte permittivité diélectrique, dits « high-k ».
Gaz halogènes rares
Offrant des développements dans le domaine de la lithographie en UV profond (DUV, ou "Deep UltraViolet"), notre usine Alpha (US) a joué un rôle de pionnier pour les mélanges de gaz halogènes haute pureté pour les lasers excimer 248nm et 193nm. Le recyclage du xénon, des gaz et des produits chimiques enrichis isotopiquement font partie de nos domaines d'expertise supplémentaires.
Technologie de fluoration pour le nettoyage des salles blanches
Notre usine d'Inju (Corée) s'investit dans la dernière génération de générateurs de fluor modulaires et bon marché. Cette technologie sans émissions de carbone est en train de prendre de l'ampleur dans un contexte de législation environnementale de plus en plus stricte à ce sujet.
Nous sommes également impliqués dans des programme de développements communs avec nos principaux clients, intégrateurs (OEM), organismes académiques et consortiums industriels.
Sur l'ensemble de la gamme
Nous proposons la gamme complète de gaz pour accompagner tous les procédés de fabrication de semi-conducteurs :
Gaz liquides ultra-purs
Générateurs de gaz sur site
Gaz spéciaux de qualité électronique en bouteilles et en vrac.
| Gaz liquides pour l'électronique | Gaz spéciaux de qualité électronique |
| Azote | Gaz de source de silicium |
| Hydrogène | Croissance de nitrure/oxyde |
| Argon | Dopage et implants |
| Oxygène | Polissage métallique et diélectrique |
AUECC, une société du groupe Linde, est spécialisée dans la fabrication et la distribution de produits chimiques humides ultra purs pour l'industrie microélectronique mondiale. Découvrez-en davantage.
Expertise en systèmes et service
Nous offrons en outre une large gamme de services professionnels, pour vous permettre de vous concentrer sur votre cœur de métier et de poursuivre vos activités. Ces services vont de la conception clé-en-main et l'installation, à la gestion de vos systèmes de gaz de bout en bout, et englobent :
Le stockage de gaz liquide et les systèmes de distribution
Les systèmes de gaz spéciaux liquides (BSGS)
Les boîtiers de gaz et centrales de distribution de gaz
La gestion totale des gaz et des produits chimiques
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